一、有關(guān)請購之量測 High Pressure Gas Particle counter 注意事項(xiàng)
何種機(jī)型適合量測何種氣體??
2100C/237H/3400/2400/227/HHPC2- 6/237 for PAr, CDA, GN2, PN2
CNC1104 for PAr, CDA, GN2, PN2
CNC1107 for H2, O2 inert gas
二、Sampleing Flowrate 需要 1.0 CFM 此大之耗量?
在相同的取樣本積下HPC-101取樣時(shí)間為MetOne2100的10倍
PMS需花10mins 才能知道完整的Data, MetOne2100只需1mins
最少的損耗,快速即時(shí)的了解目前CDA的狀況。
三、Vacuum-Pump之作用為何?
是較新的設(shè)計(jì), 與碳刷式PUMP不同的地方在于此設(shè)計(jì)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生Particals污染環(huán)境,
四、請?zhí)峁┕苈放渲弥鞒虉D及注意事項(xiàng)?
注意壓力是否有到達(dá)規(guī)定 30~150 Psi
五、放置環(huán)境條件有無限制?
Environment Operating 55 to 84°F (12 to 29°C),
20 to 95% relative humidity, non-condensing
Storage -40 to 140°F (-40 to 60°C),
up to 98% relative humidity, non-condensing
接CDA量測露點(diǎn)電 –70度 , 沒問題
若需用ParticleCounter量測環(huán)境時(shí), 只需將HPD從Particle Counter拆卸即可, 再用Particle Counter 量測Cleanroom(Class1~100)環(huán)境
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