一、有關請購之量測 High Pressure Gas Particle counter 注意事項
何種機型適合量測何種氣體??  
2100C/237H/3400/2400/227/HHPC2- 6/237 for PAr, CDA, GN2, PN2
 CNC1104 for PAr, CDA, GN2, PN2
 CNC1107 for H2, O2 inert gas

二、Sampleing Flowrate 需要 1.0 CFM 此大之耗量?
在相同的取樣本積下HPC-101取樣時間為MetOne2100的10倍
PMS需花10mins 才能知道完整的Data, MetOne2100只需1mins
最少的損耗,快速即時的了解目前CDA的狀況。

三、Vacuum-Pump之作用為何?
是較新的設計, 與碳刷式PUMP不同的地方在于此設計在運轉時不會產生Particals污染環境, 

四、請提供管路配置之流程圖及注意事項?
注意壓力是否有到達規定 30~150 Psi 

五、放置環境條件有無限制?
Environment Operating 55 to 84°F (12 to 29°C),
20 to 95% relative humidity, non-condensing
Storage -40 to 140°F (-40 to 60°C),
up to 98% relative humidity, non-condensing
接CDA量測露點電 –70度 , 沒問題
若需用ParticleCounter量測環境時, 只需將HPD從Particle Counter拆卸即可, 再用Particle Counter 量測Cleanroom(Class1~100)環境